left_menu
 
 
 
 
 
 
Á¦Ç°¸í ¿ëµµ ¹× Á¦°Å °¡´É ¹°Áú ¼º »ó »ç¿ë¹æ¹ý ºñ°í
OXST   Quartz, Ceramic, SUS ÀçÁú ºÎÇ°¿¡ ºÎÂø µÈ
  Oxide °è¿­ ¹× ±× ¿ÜÀÇ ¿À¿°µÈ ¹°Áú(SiO2,
  SiF, WFx, Ti, C, F, Al etc) Á¦°Å¿ë
  pH 4.5¡¾1.0 (¾à»ê¼º)
  ¹«»öÀÇ ¾×ü
  ¾à°£ÀÇ »êÃë±â ÀÖÀ½
  Ãßõ¿Âµµ : 25 - 60¡É
  ´Ü¼ø ħÀû(¼¼Á¤È¿°ú¸¦ ³ôÀ̱â
  À§ÇØ ¼¼Á¤Á¶¿¡ Bubble,
  Agitation, Circulation ÀåÄ¡
  Ãß°¡)
¼¼Á¤¿ë
ÄɹÌÄ®
CMST   Quartz, Ceramic, SUS ÀçÁú ºÎÇ°¿¡ ºÎÂø µÈ
  ¿¯Àº Metal ¸·(w, Ti, TiN, F, Cl, Br, Si, O
  etc.) Á¦°Å¿ë
  pH 8.5¡¾1.0(¾à¾ËÄ®¸®)
  ¹«»öÀÇ ¾×ü
  ³¿»õ ¾øÀ½
  Ãßõ¿Âµµ : 60 - 80¡É
  ´Ü¼ø ħÀû(¼¼Á¤È¿°ú¸¦ ³ôÀ̱â
  À§ÇØ ¼¼Á¤ Á¶¿¡ Bubble,
  Agitation, Circulation ÀåÄ¡
  Ãß°¡)
TBST-100   Ni CoatingµÈ Turbo Pump ºÎÇ°¿¡ ºÎÂøµÈ
  ¿À¿° ¹°Áú(SF6, Cl2, PH3, SiH4, ASH3, BF3,
  BCl3 etc) Á¦°Å¿ë
  pH 8.5¡¾1.0(¾à¾ËÄ®¸®)
  ¹«»öÀÇ ¾×ü
  ³¿»õ ¾øÀ½
  Ãßõ¿Âµµ : 60¡É
  ´Ü¼ø ħÀû(¼¼Á¤È¿°ú¸¦ ³ôÀ̱â
  À§ÇØ ¼¼Á¤ Á¶¿¡ Bubble,
  Agitation, Circulation ÀåÄ¡
  Ãß°¡)
QNST   Quartz TubeÀÇ Nitride(SiO2 ¹× Si3N4 etc)
  ¼¼Á¤¿ë
  pH 4.5¡¾1.0(¾à»ê¼º)
  ¹«»öÀÇ ¾×ü
  ¾à°£ÀÇ »êÃë±â ÀÖÀ½
  Ãßõ¿Âµµ : 25 - 40¡É
  Vertical typeÀÇ ÄɹÌÄà ½ºÇÁ·¹
  ÀÌ ¹æ¹ý ¹× Horizontal TypeÀÇ
  ÄɹÌÄà ħÀû ¹æ¹ý
QPST   Quartz TubeÀÇ Poly-Si ¸· ¼¼Á¤¿ë   pH 1.0 ÀÌÇÏ(°­»ê¼º)
  ¹«»öÀÇ ¾×ü
  »êÃë±â ÀÖÀ½
  Ãßõ¿Âµµ : 25 - 40¡É
  Vertical typeÀÇ ÄɹÌÄà ½ºÇÁ·¹
  ÀÌ ¹æ¹ý ¹× Horizontal TypeÀÇ
  ÄɹÌÄà ħÀû ¹æ¹ý
GST-300W   Si Àü±Ø Hole Etching¿ë   pH 1.0 ÀÌÇÏ(°­»ê¼º)
  ¹«»öÀÇ ¾×ü
  »êÃë±â ÀÖÀ½
  Ãßõ¿Âµµ : 25 - 40¡É
  ÀåÄ¡ ÄÁ¼Á¿¡ µû¶ó °áÁ¤
½Ä°¢¿ë
ÄɹÌÄ®
JWT-4035   Si Á¦Ç°ÀÇ ¿¬»è µî ±â°è °¡°ø ÈÄ Ç¥¸é ó¸®¿ë   pH 1.0 ÀÌÇÏ(°­»ê¼º)
  ¹«»öÀÇ ¾×ü
  »êÃë±â ÀÖÀ½
  Ãßõ¿Âµµ : 25 - 40¡É
  Ä§Àû(ÀåÄ¡ÄÁ¼Á¿¡ µû¶ó ó¸®
  ¹æ¹ýÀº ´Þ¶óÁú ¼ö ÀÖÀ½)
QEST   Quartz Etchant   pH 4.5¡¾1.0(¾à»ê¼º)
  ¹«»öÀÇ ¾×ü
  ¾à°£ÀÇ »êÃë±â ÀÖÀ½
  Ãßõ¿Âµµ : 50¡É
  ´Ü¼øħÀû(¿ëµµ¿¡ µû¶ó Bubble
  ¹× Spray ¹æ¹ý Àû¿ë)