■ Particle 및 Particle source가 되는 물질, 이온 오염원 등의 완벽한 제거 ■ 부품 모재 표면 상태 변화의 최소화 ■ 물성 변화 ■ 조직 변화 ■ 표면 거칠기의 변화 ■ 중량의 변화가 없거나 최소화 되어야 함
■ 세정 및 품질 향상 ■ 부품의 Life Time 증가 ■ 폐기하던 부품의 재사용으로 원가 절감 ■ 수율 증가 ■ 불산 및 혼산 처리 비용 절감
