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 ■ Particle 및 Particle source가 되는 물질, 이온 오염원 등의 완벽한 제거
 ■ 부품 모재 표면 상태 변화의 최소화
 ■ 물성 변화
 ■ 조직 변화
 ■ 표면 거칠기의 변화
 ■ 중량의 변화가 없거나 최소화 되어야 함

   
   
 

  세정 및 품질 향상
  부품의 Life Time 증가
  폐기하던 부품의 재사용으로 원가 절감
  수율 증가
  불산 및 혼산 처리 비용 절감